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本实用新型公开了一种含有臭氧的碱性溶液清洗硅片的装置，包括清洗槽和碱液循环装置，所述清洗槽上设置有进液口和出液口，所述进液口和所述出液口分别与所述碱液循环装置连接，碱液循环装置包括循环泵、线式加热器、气液混合器和臭氧发生器；本实用新型通过设...
该专利属于中威新能源(成都)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中威新能源(成都)有限公司授权不得商用。

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