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一种用来测量衬底，如半导体晶片上的透明薄膜，如感光树脂的厚度或折射率的横向变化的方法和装置。该薄膜被包括多种波长的光束照明。代表来自薄膜的各波长反射光的强度变化的信号被按主频分解。为控制薄膜的涂敷或去除实时使用模向厚度变化测量。...
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