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就地确定膜层厚度的方法技术
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文档序号:2510656
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根据现有技术,在镀膜处理期间确定膜层厚度花费很大。其中,为了检查膜层厚度,必须切割参考样本并由此破坏参考样本。只有当参考样本具有所期望的膜层厚度时,才能采用与参考样本一起镀膜的元件。按照本发明的一种用于确定膜层厚度的方法允许在镀膜处理期间就...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。
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