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差动离焦并行全场三维检测方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:2510374
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差动离焦并行全场三维检测方法及装置,其特征是在并行全场检测中使用差动离焦探测法,并采用同光斑光强差动算法。本发明利用两只CCD探测器进行同步离焦差动探测,根据两探测器输出信号差值,便可判断物面离焦量的大小与正负。当被测物体沿轴向扫描移动时,...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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