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本实用新型涉及一种料盘精密搬运装置，包括机架、取料组件、收料组件和移载组件。机架包括两个平行设置的固定架；取料组件包括第一放置基板、水平设置在第一放置基板上的第一气缸、水平固定在第一气缸的活塞杆上的第一伸出板和位于第一放置基板下方的第一顶升...
该专利属于苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司授权不得商用。

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