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本申请公开了一种用于半导体晶圆的工装篮，包括一对挡板，一对所述挡板相向的端面之间连接有多根支撑杆，多个所述支撑杆包围形成开口朝上的插槽，相邻所述支撑杆之间设有支撑板，所述支撑板朝向插槽的端面上设有毛刷层。该工装篮通过支撑杆包围形成的插槽对半...
该专利属于张家港市德昶自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过张家港市德昶自动化科技有限公司授权不得商用。

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