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通过修改成可区分含两种信息的重迭干涉图案的掠入角干涉仪，有关透射平面平行试样的平直度和厚度变化信息。改变干涉仪的掠射角，可识别重迭干涉图案内独特的局部干涉带强度的调制频率。基于不同干涉图案的局部干涉带强度可按其各自的调制频率区分。...
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