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本实用新型提供了一种紫外光固化装置，所述紫外光固化装置包括发光单元、光强检测单元以及与所述发光单元和所述光强检测单元分别连接的功率调节单元；所述发光单元提供UV光线，所述光强检测单元能够检测到所述UV光线的光强，所述功率调节单元根据所述光强...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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