下载基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置的技术资料

文档序号:2509390

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本发明公开了一种基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置。包括激光器的激光依次经准直透镜、光阑、被测物体反射后至聚焦透镜后接线阵型电荷耦合器件,经线阵型电荷耦合器件的输出端口与实时信号处理电路的输入端口相连。它采用平行光斜射式激光三角法、...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

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