【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置。
技术介绍
高频电-机械转换器等元件输出的角位移通常很小，为了高精度测量高频电-机械转换器的静动态特性，多采用光电式微小角位移传感器来进行测量。目前用于微位移测量的光电式传感器有干涉式、偏光式、扫描电镜式和激光三角法等。干涉式、偏光式、扫描电镜式传感器仅适用于实验室应用，不适用于工业现场使用。激光三角法传感器采用激光作位移信号的传输介质，激光的方向性好、光功率稳定，因此传感器的分辨率高，测量精度高，稳定性好，体积小；光电接收元件为CCD或PSD，测量频率高。目前常用的激光三角法传感器如Micro-Epsilon公司的产品采用激光直射法，测量精度高，线性度好，但其难以测量微小角位移，且要求被测物体精确放置在测量位置上，同时由于采用由DSP和外围器件及其软件组成的后处理电路，因此不能用作实时测量。
技术实现思路
为了克服现有测量方法及装置的不足，本专利技术的目的在于提供一种基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置，采用平行光斜射式激光三角法、非CPU结构的实时信号处理电路和高速线阵型CCD，应用于微小角位移...
【技术保护点】
一种基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置，其特征在于：包括激光器（４）、准直透镜（３）、光阑（２）、聚焦透镜（５）、线阵型电荷耦合器件（６）和实时信号处理电路（７）；激光器（４）的激光依次经准直透镜（３）、光阑（２）、被测物体（１）反射后至聚焦透镜（５）后接线阵型电荷耦合器件（６），经线阵型电荷耦合器件（６）的输出端口与实时信号处理电路（７）的输入端口相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：丁凡，方平，李勇，李其朋，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]
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