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在干涉仪的基准面和被检测面之间配置光量比调节滤光片（１１２）。该光量比调节滤光片（１１２），是在由玻璃构成的透明基板的被测体（１１７）侧的面上，设置包括光反射吸收层（１２ａ）和电介体防止反射层（１２ｂ）的光量比调节膜（１２），而在基准面（１...
该专利属于富士能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士能株式会社授权不得商用。

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