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动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法制造方法及图纸
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文档序号:2508811
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本发明公开一种动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法,所述干涉仪装置具备:同步信号生成部(43),其将瞬间的摄像期间设定为包含于摄像面(33)的受光容许期间内;AOM(13)和AOM驱动器(14),所述AOM用于使从半导体激光光源...
该专利属于富士能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士能株式会社授权不得商用。
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