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本发明提供一种用于通过测量探头(11)测量薄层厚度的方法和 设备，测量探头(11)具有保持至少一个其纵向轴线平行于壳体(14) 的纵向轴线(16)或位于该纵向轴线上的感测器元件(17)的壳体(14)， 其中至少在测量过程中，气态介质在测量表...该专利属于赫尔穆特·费希尔地产两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过赫尔穆特·费希尔地产两合公司授权不得商用。
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本发明提供一种用于通过测量探头(11)测量薄层厚度的方法和 设备，测量探头(11)具有保持至少一个其纵向轴线平行于壳体(14) 的纵向轴线(16)或位于该纵向轴线上的感测器元件(17)的壳体(14)， 其中至少在测量过程中，气态介质在测量表...