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本发明的特征在于确定两坐标系之间的相对空间参数的系统和方法，这两个坐标系可以是模具和其中采用模具来生成图案的衬底。为此，感测两坐标系之间在多个点处的相对对准以确定它们之间的相对空间参数。相对空间参数包括相对面积和相对形状。...
该专利属于分子制模股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过分子制模股份有限公司授权不得商用。

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