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本发明涉及一种钛钨方形靶材组件的校正方法，所述校正方法包括：将温度为100‑120℃的钛钨方形靶材组件加压至凹陷2‑2.2mm，然后冷却至室温再撤去压力。本发明所述校正方法，针对钛钨方形靶材组件的力学性能特点，依靠保持的温度和凹陷的程度之间...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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