温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种钝化镀膜系统，属于太阳能电池制造技术领域，解决了现有系统钝化镀膜时间长、钝化仓和PECVD工艺仓温差大，易于出现碎片的问题。本实用新型的钝化镀膜系统包括进料仓、抗PID装置、PECVD工艺仓和出料仓；抗PID装置包括气瓶、...
该专利属于晶澳(扬州)太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶澳(扬州)太阳能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。