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本实用新型提供了一种用于硅片上料传送的装置，包括机架、直线模组、拖链、连板组件、底板，底板上分别设置有两组治具，治具包括气缸、法兰、定位销、限位销、工作台组件，所述气缸和定位销均竖直固定在底板上，若干根定位销周向均布在气缸周围，所述法兰上开...
该专利属于浙江芯晖装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江芯晖装备技术有限公司授权不得商用。

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