下载一种光学镀膜辅助离子源的技术资料

文档序号:25072316

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本实用新型公开了一种光学镀膜辅助离子源,包括放电室、位于放电室外侧的磁棒及依次安装在放电室正前方的屏极、加速极及中和灯丝,放电室内安装有第一阳极筒和第二阳极筒,放电室进口端内安装有位于第一阳极筒内的阴极,进口端沿周侧设有进气口,第一阳极筒和...
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