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本发明公开了一种超分辨复色差动共焦测量方法，其包括：提供第一差动共焦测量装置，提供一平行平板修正色差超分辨测头，提供一计算机装置，以及，精确修正超分辨滤波器平板基底厚度，实现两光束聚焦平面位置调节，从而保证两焦平面的位置差恰好等于第一差动共...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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