温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种固定机构、半导体机台以及晶圆清洗装置，在半导体工艺中，通过固定机构可径向夹紧半导体基底实现半导体基底的固定，且在半导体工艺过程中，还可通过检测部件精确监控卡销的磨损状态，一旦检测部件发出对应的事件，操作人员即可根据所发出的事件...
该专利属于中芯集成电路制造(绍兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路制造(绍兴)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。