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本发明涉及半导体领域，尤指一种适用于光刻机的焦距调整方法，采用一种高像素的手机摄像头来采集激光束照射到版材上成像图片，利用上位机中的ISP算法，对图像进行分析并根据图像中相邻像素之间的密度差距向线性模组发出驱动命令，使手机摄像头的位置一直调...
该专利属于湖南印之明智能制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南印之明智能制造有限公司授权不得商用。

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