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本发明涉及光刻胶技术领域，尤其是涉及一种光刻胶组合物及其制备方法和应用。光刻胶组合物，主要由按重量份数计的如下组分制成：成膜树脂20～40份、四苯基乙烯衍生物5～20份、交联剂2～20份、光敏剂0.5～20份和溶剂；所述四苯基乙烯衍生物为含...该专利属于潍坊星泰克微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊星泰克微电子材料有限公司授权不得商用。
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本发明涉及光刻胶技术领域，尤其是涉及一种光刻胶组合物及其制备方法和应用。光刻胶组合物，主要由按重量份数计的如下组分制成：成膜树脂20～40份、四苯基乙烯衍生物5～20份、交联剂2～20份、光敏剂0.5～20份和溶剂；所述四苯基乙烯衍生物为含...