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本发明提供了一种金属掺杂非晶碳薄膜材料，在非晶碳结构中掺杂质量百分比为7％～15％的金属元素钛、铬、钨形成，并且金属元素固溶于非晶碳结构和/或者金属元素以金属碳化物纳米晶镶嵌于非晶碳结构。该薄膜材料具有较高的电阻温度系数与较低的电阻率，同时...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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