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本发明公开了一种环形玻璃载板的制造方法，属于晶圆加工领域。一种环形玻璃载板的制造方法，包括以下步骤：在玻璃板的待加工端面上布置多个流体喷头；向所述待加工端面喷洒腐蚀液；多个所述流体喷头相对于所述玻璃板，且围绕所述待加工端面中心，进行圆周运动...
该专利属于绍兴同芯成集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴同芯成集成电路有限公司授权不得商用。

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