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本申请公开了一种单晶炉漏硅检测装置，包括单晶炉炉体、设置在所述单晶炉炉体内部的坩埚，以及设置在所述单晶炉炉体底部的石墨毡、石墨板和CO检测单元，所述石墨毡位于所述单晶炉炉体内底部端面，所述石墨板铺设于所述石墨毡的上表面，所述CO检测单元穿过...
该专利属于银川隆基硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过银川隆基硅材料有限公司授权不得商用。

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