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本实用新型提供一种粉末棒沉积设备,包括喷灯、沉积室、靶棒及吊杆,所述靶棒的一端连接于所述吊杆端部,所述靶棒伸入所述沉积室,所述喷灯喷射反应气流沉积粉末附着于靶棒上,所述沉积室连通于上部沉积腔体,所述上部沉积腔体包括同轴设置的上部沉积腔体内层...该专利属于中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司授权不得商用。