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本实用新型公开了一种去除高纯四氟化硅气体中二氧化碳和氟化氢的装置，包括设有通道的箱体、驱动四氟化硅气体流经通道的风机组件、以及对流经通道的四氟化硅气体进行过滤的过滤组件，过滤组件包括沿四氟化硅气体输送方向依次设置的用于吸附水和二氧化碳的第一...
该专利属于苏州金宏气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州金宏气体股份有限公司授权不得商用。

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