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本文描述了一种加固型微机电(“MEMS”)力传感器，其包括传感器管芯和应变传递层。MEMS力传感器采用压阻或压电应变计用于应变感测，其中应变通过应变传递层传递，所述应变传递层设置在所述传感器管芯的顶侧或底侧上。在顶侧应变传递层的情况下，ME...
该专利属于触控解决方案股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过触控解决方案股份有限公司授权不得商用。

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