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该实用新型涉及一种防溅装置与晶圆处理设备，其中所述防溅装置包括：闭合挡具，包括底板和设置在底板上方的侧壁，所述侧壁与所述底板相互连接，围成一底面闭合的空间，用于放置所述晶圆放置台，防止喷淋至所述晶圆放置台上表面的喷淋液溅出；清洗喷头，朝向所...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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