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本发明公开了一种等离子约束装置，包括相独立的导电元件和接地元件，所述导电元件位于所述接地元件上方，并与所述接地元件单端电连接。本发明导电元件和接地元件的单端电连接，降低了电位，使得等离子体与之碰撞后的残余电荷更容易被接地导走，增加了约束效果...
该专利属于上海邦芯半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海邦芯半导体设备有限公司授权不得商用。

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