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一种用于对缺陷进行分类的系统、方法和计算机可读介质，所述方法包括：接收经分类的第一缺陷和潜在缺陷，每个第一缺陷和潜在缺陷具有属性值；处理第一缺陷和潜在缺陷以选择将第一缺陷与潜在缺陷区分开的属性的子集；分别基于第一缺陷和潜在缺陷获得第一函数和...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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