下载一种硅片的清洗槽的技术资料

文档序号:24995960

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本实用新型公开了一种硅片的清洗槽,涉及硅片生产技术领域,具体为一种硅片的清洗槽,包括槽体,所述槽体的顶部固定安装有超声波发生器,所述槽体的右侧固定连接有排液口,所述排液口的顶部固定安装有控制阀,所述槽体的内部固定连接有挡板,所述挡板的顶部放...
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