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本发明提供了一种高速探针卡测试方法及测试系统,包括步骤:将母板、第一基板组件、高速探针、第二基板组件依次进行叠加组装形成待测高速探针卡;所述母板上至少设置有一个测试单元,每个测试单元至少包括两个接口模块和收发模块,所述接口模块之间直接连接或...该专利属于上海泽丰半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海泽丰半导体科技有限公司授权不得商用。
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