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本公开提供一种探测装置及其操作方法。该探测装置包含一载台及一探针卡，该载台经配置以承载一待测元件，该探针卡配置在该载台上。该探针卡具有一入口及一出口，该入口经配置以将一气体传输到该探针卡中，该出口经配置以在一预定温度中将该气体从该探针卡吹到...
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