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一种电子束沉积喷头及方法技术
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下载一种电子束沉积喷头及方法的技术资料
文档序号:24989548
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本发明公开了一种电子束沉积喷头及方法,包括喷嘴和高压气体加热器,高压气体加热器内部设有加热腔,高压气体加热器上设有与加热腔连通的高压气体接口,高压气体加热器的上端设有电子束装置连接口;喷嘴为圆锥形喷嘴,喷嘴为中空结构,喷嘴的小端设有供电子束...
该专利属于西安建筑科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安建筑科技大学授权不得商用。
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