下载一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机的技术资料

文档序号:24989541

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本发明涉及一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机,包括催化剂衬底、喷头和驱动装置,喷头设有加热装置,喷头一端通入有反应气体、还原气体和惰性气体,喷头另一端与催化剂衬底对应设置,驱动装置设于喷头一侧,驱动喷头和催化剂衬底相对三维移动。喷头加热...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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