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本发明提供一种基片台，用于承载圆片，所述基片台上表面呈圆形，所述基片台直径大于所述圆片，所述基片台的圆形边缘设有一个环形的凹坑，所述凹坑中填充有无机材料。由于微波激发的等离子体球是一个能量密度不均匀的球形体，导致对基片台上工件的热辐射量也是...
该专利属于上海征世科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海征世科技有限公司授权不得商用。

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