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一种多层CVD金刚石锥阵列抛光工具的制备方法技术
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一种多层CVD金刚石锥阵列抛光工具的制备方法,其特征是它包括以下步骤:首先使用砂纸打磨衬底表面以去除表面氧化层和油污,并采用特定激光参数对衬底表面进行织构,得到沟槽结构,接着对衬底进行“喷砂—超声清洗—植晶—清洗吹干”的预处理步骤,然后将处...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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