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本发明涉及溅射镀膜技术领域，尤其涉及提供了一种旋转靶的制备方法及其喷涂设备，包括熔炼炉；加热装置，用于加热熔炼炉；喷涂装置，包括喷嘴和熔体输送管道；其中，喷嘴包括熔体管道以及套设于熔体管道外侧的气体管道，熔体管道的外侧壁与气体管道的内侧壁之...
该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

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