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一种面板处理设备包括至少一距离传感器及多段吸附装置。所述距离传感器用以感测面板的翘曲轮廓。所述多段吸附装置具有多个吸附面，所述吸附面的高度依据所述距离传感器所测得的所述翘曲轮廓调整，且所述吸附面用以吸住且整平面板。...
该专利属于日月光半导体制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日月光半导体制造股份有限公司授权不得商用。

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