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一种音圈电机双摆臂取放结构，涉及半导体自动化设备领域，它由两个摆臂机构、工作平台、主轴旋转伺服电机、音圈电机组成；摆臂机构设置在工作平台的下方,主轴旋转伺服电机居中设置在工作平台的上方，音圈电机固定在工作平台上；摆臂机构由摆臂、吸嘴、交叉导...
该专利属于深圳市昌富祥智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市昌富祥智能科技有限公司授权不得商用。

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