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本发明公开了一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头,包括保持架。本发明通过设置保持架、真空压头、真空压头固定板、中间隔板、滑动套连接板、导向柱、锁紧型测微头、支撑杆、陶瓷滑杆座、压簧、陶瓷滑套组件、压簧旋钮、上保持架、砝码和无线发射盒的配...该专利属于北京特思迪半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京特思迪半导体设备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头,包括保持架。本发明通过设置保持架、真空压头、真空压头固定板、中间隔板、滑动套连接板、导向柱、锁紧型测微头、支撑杆、陶瓷滑杆座、压簧、陶瓷滑套组件、压簧旋钮、上保持架、砝码和无线发射盒的配...