下载晶圆电镀机的技术资料

文档序号:24974086

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本实用新型涉及晶圆加工领域,公开了一种晶圆电镀机。该晶圆电镀机,包括电镀容器和电源,电镀容器上设置有盖板,电镀容器内设置有阳极金属板,阳极金属板与电源正极相连,盖板内侧设置有至少两个晶圆夹具,晶圆夹具连接有转轴,转轴与盖板转动连接并穿出至盖...
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