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一种金属有机化合物容器，用于盛放MO源，包括MO源瓶体、进气管路、出气管路、所述进气管路和出气管路的端部均设置有与MOCVD设备连接的连接头，所述连接头和MO源瓶体之间均设置手动阀，其特征在于：所述连接头和手动阀之间设置感应阀，通过控制连接...
该专利属于安徽三安光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽三安光电有限公司授权不得商用。

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