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一种碳纳米管化学气相沉积设备，包括设备主体、制备腔、加热元件，所述设备主体包括设备壳体、密封盖板，设备壳体内设有空腔；所述制备腔设置在空腔内，制备腔一侧设有第一进气口，制备腔的内部设有依次相连的输气管道、螺旋管道和导流反应腔；所述加热元件包...
该专利属于四川轻化工大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川轻化工大学授权不得商用。

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