一种碳纳米管化学气相沉积设备制造技术

一种碳纳米管化学气相沉积设备，包括设备主体、制备腔、加热元件，所述设备主体包括设备壳体、密封盖板，设备壳体内设有空腔；所述制备腔设置在空腔内，制备腔一侧设有第一进气口，制备腔的内部设有依次相连的输气管道、螺旋管道和导流反应腔；所述加热元件包括原料供应装置加热组件、制备腔加热组件。产生的有益效果是:将制作碳纳米管的气态原材料通过第一进气口导入到制备腔内，气态原材料通过输气管道与螺旋管道进入导流反应腔内，并在催化剂反应层的催化作用下迅速进行化学反应，而原料供应装置加热组件与制备腔加热组件给进入制备腔的气态原材料进行加热催化，使气态原材料在制备腔内充分进行化学反应。

【技术实现步骤摘要】
一种碳纳米管化学气相沉积设备
本技术涉及一种碳纳米管化学气相沉积设备。
技术介绍
碳纳米管作为一维纳米材料，重量轻，六边形结构连接完美，具有许多异常的力学、电学和化学性能,近些年随着碳纳米管及纳米材料研究的深入其广阔的应用前景也不断地展现出来,目前，较为常用的碳纳米管制备方法是化学气相沉积法，利用含碳气体作为碳气源，在硅或沸石基座上生长出多壁或单壁碳纳米管,但是现有的碳纳米管制备设备存在一个问题，就是制备出的碳纳米管准直性不好,且常用的CVD制备腔内部空间较小，使CVD材料生长尺寸放大受到限制，没有足够的空间供制备碳纳米管的气态原材料在制备腔内进行化学反应。
技术实现思路
针对以上所述，本技术提供了一种碳纳米管化学气相沉积设备，该碳纳米管化学气相沉积设备能够实现碳纳米管的准直性生长，且能提供足够的空间供碳纳米管的气态原材料在制备腔内进行化学反应，能够实现高效制备碳纳米管。本技术解决其技术问题所采取的技术方案是：提供了一种碳纳米管化学气相沉积设备，包括设备主体、生产碳纳米管的制备腔、能促进化学气体反应的加热元件，所述设备主本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳纳米管化学气相沉积设备，包括设备主体、生产碳纳米管的制备腔、能促进化学气体反应的加热元件，其特征在于：所述设备主体包括设备壳体、可往两边打开的密封盖板，设备壳体内设有空腔，密封盖板分为第一密封盖板与第二密封盖板，第一密封盖板与第二密封盖板的两侧端分别连接在设备壳体的左右两侧；所述制备腔设置在空腔内，制备腔一侧设有第一进气口，制备腔的内部设有依次相连的输气管道、螺旋管道和导流反应腔，所述第一进气口连接输气管道，所述螺旋管道连接导流反应腔；所述加热元件包括原料供应装置加热组件、制备腔加热组件，所述制备腔加热组件设置在制备腔内，且位于原料供应装置加热组件的上方。/n

【技术特征摘要】
1.一种碳纳米管化学气相沉积设备，包括设备主体、生产碳纳米管的制备腔、能促进化学气体反应的加热元件，其特征在于：所述设备主体包括设备壳体、可往两边打开的密封盖板，设备壳体内设有空腔，密封盖板分为第一密封盖板与第二密封盖板，第一密封盖板与第二密封盖板的两侧端分别连接在设备壳体的左右两侧；所述制备腔设置在空腔内，制备腔一侧设有第一进气口，制备腔的内部设有依次相连的输气管道、螺旋管道和导流反应腔，所述第一进气口连接输气管道，所述螺旋管道连接导流反应腔；所述加热元件包括原料供应装置加热组件、制备腔加热组件，所述制备腔加热组件设置在制备腔内，且位于原料供应装置加热组件的上方。


2.根据权利要求1所述的一种碳纳米管化学气相沉积设备，其特征在于：所述设备壳体由左侧面、右侧面、底面、正面和后背面五块壳体组成一个顶端敞开的长方体状。


3.根据权利要求1所述的一种碳纳米管化学气相沉积设备，其特征在于：所述第一密封盖板与第二密封盖板两侧边通过铰链与设备壳体的左右两侧绞合连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：龚勇，曾宪光，陈建，金永中，李瑞，何宇，卿龙，邓明，文飞，
申请(专利权)人：四川轻化工大学，
类型：新型
国别省市：四川;51