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本申请公开了一种合成碳化硅粉料的坩埚组件,属于碳化硅粉料制备设置领域。该用于合成碳化硅粉料的坩埚组件,其包括:坩埚,所述坩埚至少设置一个进气孔和至少一个出气孔,所述坩埚用于盛放原料;和多孔石墨片,所述多孔石墨片设置在所述坩埚内,所述多孔石墨...该专利属于山东天岳先进材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东天岳先进材料科技有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种合成碳化硅粉料的坩埚组件,属于碳化硅粉料制备设置领域。该用于合成碳化硅粉料的坩埚组件,其包括:坩埚,所述坩埚至少设置一个进气孔和至少一个出气孔,所述坩埚用于盛放原料;和多孔石墨片,所述多孔石墨片设置在所述坩埚内,所述多孔石墨...