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激光结晶装置制造方法及图纸
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下载激光结晶装置的技术资料
文档序号:24965351
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根据本公开的激光结晶装置可包括光源部、第一光学部、第二光学部、阻断部、第三光学部以及工作台。所述光源部可射出第一激光束。所述第一光学部可改变所述第一激光束的路径及大小而将所述第一激光束转换为第二激光束。所述第二光学部可将所述第二激光束分割而...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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