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挠性机构制造技术
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文档序号:24964056
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本发明公开了一种挠性机构,包含有:一基座;一第一座体,与该基座相隔开来,并于一第一轴向上相对该基座位移;多数第一挠性单元,桥设于该基座与该第一座体之间,各该第一挠性单元系具有该第一轴向上的弹性;一横梁,设置该基座上,并与该第一座体相隔开来;...
该专利属于大银微系统股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大银微系统股份有限公司授权不得商用。
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