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本发明公开了一种助熔剂法连续生长氮化物体单晶用补充机构、系统及方法。所述补充机构包括:用以容置待补充生长原料的承装密封腔、导流管路、导流部件及压力供给组件,所述承装密封腔与压力供给组件连通,所述承装密封腔与导流部件通过导流管路连通,所述导流...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种助熔剂法连续生长氮化物体单晶用补充机构、系统及方法。所述补充机构包括:用以容置待补充生长原料的承装密封腔、导流管路、导流部件及压力供给组件,所述承装密封腔与压力供给组件连通,所述承装密封腔与导流部件通过导流管路连通,所述导流...